(一)主要（yào）配置：
1、微波頻率2.45GHz；足額功率0～500W（基本型）或0～1000W（升級型）連續可調，陽極高壓、陽極電流足額顯示（shì）；
2、Φ50mm（基本（běn）型）或Φ90mm（升級型）石英（yīng）管真空室，有一個觀察窗（chuāng）和一個（gè）診斷窗（chuāng）；
3、石（shí）英管采用製冷循環水（shuǐ）冷卻，保證（zhèng）裝（zhuāng）置安全運行（háng）。
4、配有（yǒu）真空測量及控製閥門係統（tǒng）；3路工作氣體流量控製；
(二)典型實驗：
1、等離子體化（huà）學（xué）氣相沉積（jī）。A（氣（qì））+B（氣）→C（固）+D（氣）。
反應氣體A、B被激發為等離（lí）子（zǐ）狀態，其（qí）活性基團發生反應生成所需要的固態物沉積在基片上，可廣泛用於薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜（mó）、碳納米材料等。
2、等離子體表麵刻蝕。A（氣）+B（固）→C（氣）。反應氣體A被激發為等離（lí）子體狀態與固體B表麵原子發生反應生成氣態物C，可用於集成電路的刻（kè）蝕實驗。
3、等離子體催（cuī）化反應。等離子體中具有豐（fēng）富的活性成分，如（rú）紫外和可見光子、電子、離子、自（zì）由基，高反應性（xìng）的中性成分如活（huó）性原子、受激原（yuán）子態，從而可以引（yǐn）發在常規化學中不能或很難實（shí）現的（de）化學反應。
4、等離子體表麵改性。A（氣）+B（固）→C（固）。反應（yīng）氣（qì）體A被激發為等離子體狀態，與（yǔ）固體B表麵發生反應，生成新的化合物，從而（ér）達到改變（biàn）B物質（zhì）表麵性（xìng）質的目（mù）的。廣泛用於（yú）高分子材料、金（jīn）屬材料（liào）、生物醫用材料的表麵改性（xìng）。
(三)產（chǎn）品特色：
1、 微波係統（tǒng）設計（jì）嚴謹，加工精良，運行時微波準零泄漏，確保使用者（zhě）人身安全；
2、 微波（bō）功率充足，等（děng）離子效應強勁，作用（yòng）效果良好；陽極（jí）電壓電流足額顯示。
3、 樣品台升降架精巧（qiǎo）豪華，方便（biàn）調諧和樣品取放；
4、 樣品台可加熱或冷卻，有利於控製反應過程。
5、製冷循環水係統踐行環（huán）保（bǎo）理念，避免用長流（liú）水費水擾民。
6、循環水（shuǐ）機可（kě）聯機使用、可獨立使用，提高了投（tóu）資效益；
7、缺水時啟動（dòng）高（gāo）壓或正常工作時斷水，係統會斷電（diàn）並報警；
8、真（zhēn）空泵排氣（qì）口接有油霧（wù）過濾器，保護（hù）環境；
9、電控係統功能完善（shàn）、操作靈便、指示醒目；
10、整機造型典雅大氣。
(四)輔助設備與耗材（主（zhǔ）要由客戶另購）：
超聲清洗機、1000×金相顯微鏡（jìng）；矽片、金剛石微粉（fěn）、氫氣、甲烷、甲 / 乙醇、玻璃基襯底的碳膜、模板、石英（yīng）管 / 板等。
(五)特（tè）殊配置（客（kè）戶提出要求,本廠設計製作,費用雙方協商）：
1、異型基（jī）片台（樣品台） （參考價￥220）
2、上置疹斷探針（帶透明觀察窗） （參考價￥360）
3、可加熱可（kě）測溫（wēn）的（de）基片台——可水冷可
出接線端子的基（jī）片台支柱——寬行程
精巧豪華升降架——下法蘭(總成) （參考價￥6800）
4、基片台加熱及溫度測控儀 （參考價（jià）￥1100）
5、可水冷（lěng）的基片（piàn）台（帶升降架總成） （參考價￥3600）
6、光學鏡頭(用於聯接光譜儀、光（guāng）度計等) （參考價￥1500）
7、客戶提出需求的其它配置 （另議）
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