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無腔壓力(lì)傳感器可以用來測量粘稠(chóu)易堵介質(zhì)的壓力,由於該傳感器的敏感元件采用了硬(yìng)膜結構,使其與(yǔ)被測介質直接接觸時能(néng)耐衝擊和耐(nài)磨損;另外采用了離子束澱積技術,使(shǐ)該(gāi)傳(chuán)感器具有精度高、能長期在惡劣環境下(xià)工作的特點。
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